低溫等離子
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。有機化合物終產物為CO2和H2O。若有機物是氯代物，則產物應加上氯化物，而無中間副產物。降低了有機物的毒性，同時避免了其他方法中的后期處理問題。適于處理風量大、組分復雜的 VOCs氣體，特別適用于惡臭氣體的處理。等離子體按粒子溫度可分為平衡態（電子溫度=離子溫度）與非平衡態（電子溫度>>離子溫度）兩類。非平衡態等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產生。氣體放電有多種形式，其中工業上使用的主要是電暈放電（在去除廢氣中的油塵上應用已相當成熟）和介質阻擋放電（用于廢氣中難降解物質的去除）兩種。等離子體法的優點是處理 VOCs濃度范圍廣，去除率高，無二次污染，但是單位處理量降解能耗偏高，并且裝置放大受反應器結構限制，目前較多協同催化、吸附等方法處理VOCs。
