工業無塵烘箱用途:
用于半導體制造中預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
工業烘箱,工業無塵烘箱特點:
1.烘箱內部等級達到Class 100、Class 1000;
2.全周氬焊,防機臺本身所產生微塵;
3.采用水平或垂直送風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環方式,雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到z佳溫度控制精度。
工業烘箱,工業無塵烘箱技術參數:
1.主要技術指標:
內箱材質:優質304不銹鋼;
外箱材質:冷軋板噴塑或不銹鋼;
無塵等級:Class 100、1000
溫度范圍:RT+10~250℃、300℃
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載);
溫控精度:±0.1℃;
進風口:φ6mmN2進氣、流量計控制;
氮氣烘箱
氮氣烘箱技術參數:
1. 內部尺寸:800*800*1000(mm)
2. 內箱分層:三層
3. 溫度范圍:RT+10℃~250℃。
4. 溫度波動:<±1℃。
5. 溫度均勻:±1%(空載測試)。
6.溫控裝置:高精度P.I.D智能溫控儀表、P.I.D自動演算、時間定時。
7.內室材料:采用無磁性鏡面不銹鋼;外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 。
8.保溫材料:陶瓷纖維。
9.特質復合式SUS304#不銹鋼電熱產生器。
保護裝置:超溫保護器,無熔絲開關。
11. 進氣/排氣:
進氣系統:數量1個,φ8mm
充氣壓力:0.01~0.02Mpa
流 量 計:氮氣轉子流量計
減 壓 閥:進氣端配有氮氣減壓閥,充氣壓力指針顯示
排氣系統:數量1個,φ50mm