UP1L研用超高純氣體純化器
委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果
氣體類型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 單位 |
原料氣 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未測試 | ppm |
純化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
部分用于現場照片：
山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的綠色。
北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器
西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器
搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統，用于人造鉆石生產高純氫場合
UP1L 超高純氣體純化器
產品參數：
l 原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2
l 產品氣純度：≥99.99999%
l 產品氣雜質含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）
H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l 大工作流量：1000sccm
l 內置顆粒過濾器：2 微米
l 軟件功能：可顯示多達7種工作狀態或故障報警，并具有壽命計時及提醒功能
l 擴展功能：多臺純化器可同一終端批量控制，也可與其他設備集成使用
l 大工作壓力：1.0MPa
l 進出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭
l 純化柱及管路：EP級316不銹鋼
l 電源電壓及功率：220V，0.8kw
l 產品外形尺寸：170×160×320mm
