通常采用電暈放電（CoronaDischarge）或輝光放電產生低溫等離子體。換言之，可以認為氣體分子借助電能，使其處于電離或激發狀態，以致化學反應性非常活潑。等離子體中含有電子、游離基、離子、紫外光和許多不同激活粒子，視不同氣體介質而定。
脈沖電暈等離子體凈化有機物甲苯技術是一種物理與化學相結合的新方法，其基本原理是利用脈沖放電形成非平衡等離子體，產生大量高能活性粒子，其中電子與甲苯分子碰撞；當電子具有的動能高于苯環中C-C鍵結合能時，苯環被打開，進而被氧化成二氧化碳和水。由于污染氣體大多處于常溫常壓狀態，需在常溫常壓下獲得非平衡等離子體，因而要求不均勻外電場只加速電子，不加速離子，以控制氣體溫度不使其成為熱等離子體。采用脈沖前沿極短、寬度很窄的高壓脈沖電暈放電，是常溫常壓下得到非平衡等離子體較簡單、有效的方法。
等離子體的兩個重要作用
*個作用是預荷電集塵。產生的大量電子和正負離子與空氣中的顆粒發生非彈性碰撞，附著在上面，形成荷電粒子，它們在外加電場作用下向集塵極遷移，沉積其上，對于懸浮在空氣中直徑小于100μm的總懸浮顆粒物（TSP）和直徑小于10μm的可吸入顆粒物（PM10）能產生一定的凈化效果。
第二個作用是能產生大量的負離子，這些負離子釋放到室內空氣中，一方面能夠調節空氣粒子平衡，有利于人體健康：另一方面還能有效清除空氣中的污染物，當高濃度的負離子同空氣中的有毒物質和灰塵等顆粒物碰撞后使其帶負電，這些帶負電的顆粒物又會吸引周圍帶正電的顆粒物（包括空氣中的細菌、病毒和孢子等），増大積聚，后這些顆粒物大到一定程度就會沉降到地面從而降低了被人體吸入體內的危險。
