污染源稀釋采樣器流量計:一般用孔口或轉子流量計測定空氣流量。還可裝配流量自動控制部件，以保證在采樣期間空氣流量的穩定。
抽氣動力系統，通常用電動真空泵、刮板泵、薄膜泵、電磁泵或其他抽氣泵。電動微型真空泵抽氣量大，可配置在大流量大氣采樣器上。刮板泵、薄膜泵、電磁泵抽氣量較小，但重量較輕，攜帶方便，可配置在小流量大氣采樣器上。用作氣體采樣的泵俗稱氣體采樣泵，學名應該是"微型真空泵"。一般負載較小的常被稱為氣體取樣泵，微型真空泵可以帶大負載、允許進氣口堵死。不同的設計和元件使得兩種微型泵的成本差別較大，氣體采樣泵在價格上略有優勢，但疲勞強度、可靠性、壽命等技術指標不如微型真空泵。大負載條件下氣體采樣泵容易損壞，尤其是低端的微型泵。
污染源稀釋采樣器檢查儀器的可靠性。除了檢查相關的技術指標外，還需要檢查鎘膜泵是否為氦氣。檢查時，先用手指擋住儀器的進氣口，觀察是否流量計的轉子減小到低位置。如果流量計的轉子繼續移動，表明鎘膜泵是氦氣，應及時修復。如果轉子靜止，儀器運行良好，流量指示可靠。
如果您在操作過程中意外吸入酸堿溶液，您可以間歇地吸入取樣器并用蒸餾水沖洗幾次，然后吸入乙醇，這樣儀器可以在無負荷下運行半個月左右。在幾小時內，乙醇*放電。在正常情況下，儀器可以恢復正常的工作指示。如果顆粒或纖維等雜質進入鎘膜泵，清洗后不能清除，應返回工廠維修或在工廠的位置進行維護。
使用試驗機。準備好后，將功能開關轉到“ON”或“S”位置，然后調節流量控制閥，調節流量到采樣所需的流量，儀器將啟動工作。
