低溫等離子技術是廢氣處理工藝的核心技術之一，在國外被稱為在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，低溫等離子體要在工業中應用效果還是很不錯的，但工藝做起來并不是很容易。低溫等離子工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有*的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是理想的一種能。
低溫等離子廢氣處理技術采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。
低溫等離子的原理
溫等離子體技術處理污染物的原理：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有很強潛在優勢的*，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。
等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣99%以失敗而告終的原因。
低溫等離子廢氣處理設備可廣泛用于多種污染物的處理，如塑料廠廢氣、污水泵站、餐飲油煙、污水處理廠臭氣、煙草行業廢氣等污染物處理，其市場前景非常看好。
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