供氣系統(tǒng)：簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)、常規(guī)供氣系統(tǒng)、大宗特氣供氣系統(tǒng)。重慶實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB
簡(jiǎn)單輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板;配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)和單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。
大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷;氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取Ｌ胤N氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空等。重慶實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB
實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)：
1、保持氣體純度;
2、不間斷氣體供應(yīng),系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換，保證氣體連續(xù)供應(yīng)
3、當(dāng)氣壓低于警報(bào)*，報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警
4、氣體壓力穩(wěn)定,系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、高效率,通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本
6、操作簡(jiǎn)便，所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運(yùn)安裝的操作，節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用
7、減少氣瓶的租金，采用集中供氣，可減少對(duì)氣瓶數(shù)量的要求，從而節(jié)省氣瓶的租用成本
8、無氣瓶在實(shí)驗(yàn)室，可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間
9、方便檢查和維修
