常用的純水設備是利用反滲透（膜分離）技術，反滲透技術的應用使超純水制備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器、混合近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業。國家經委也已將RO＋EDI 成套技術的應用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業給以政策上的優惠。
1：預處理−反滲透−純化水箱−離子交換器−紫外燈-純水泵−用水點
2：預處理−一級反滲透−二級反滲透（正電荷反滲膜）−純化水箱−純水泵-紫外燈−用水點
3：預處理−反滲透−中間水箱−中間水泵−EDI裝置−純化水箱−純水泵-紫外燈−用水點
4：預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）
2：預處理−一級反滲透−二級反滲透（正電荷反滲膜）−純化水箱−純水泵-紫外燈−用水點
3：預處理−反滲透−中間水箱−中間水泵−EDI裝置−純化水箱−純水泵-紫外燈−用水點
4：預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）
