潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
凈化工程具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。
海博爾智能凈化工程公司——潔凈室空氣凈化行業協會會長單位,潔凈技術專家委員會主任委員單位,電子潔凈技術委員會主任委員單位。
海博爾智能凈化工程公司是一家專注凈化工程的高品質專業公司。前身為中航潔凈技術研究所的海博爾智能凈化工程公司,始創于1989年9月,注冊資金5100萬元。公司下設九部一辦,轄16個省市辦事機構。自成立至今,公司始終如一地致力于為需求群體提供專業、成熟、個性化、高品質的凈化工程服務。始終堅持發揚“誠信贏領未來,專業成就輝煌”的企業發展宗旨和以“責任、誠信、創新、品質、服務”為立業之本的團隊精神,形成了一套完整的考察、設計、施工、驗收、維護的服務體系。
無塵車間,手術室,實驗室凈化除濕防靜電工程,通風空調工程,自動化控制工程
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