變壓吸附的基本原理是依靠固體吸附劑對各組分的吸附能力不同而進行分離的。因固體吸附劑是多孔性的，當氣體與之接觸時，在其表面或內部將發生容納氣體的現象，稱為固體對氣體的吸附；已被固體吸附的原子或分子返回到氣體中去，稱為解吸或脫附。采用吸附劑隨著壓力的變化吸附量發生變化對氣體進行吸附或脫附的方法稱為變壓吸附法。PSA制氧裝置因耗能小，操作簡單，在臭氧脫硝制氧機等領域都得到了廣泛應用。

寶聯氣體加壓吸附真空解吸(簡稱VPSA)制氧設備，即穿透大氣壓(0.3barg) 的條件下，利用VPSA分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣,二氧化碳和水等雜質，在抽真空的條件下對分子篩進行解吸，從而循環制得純度較高的氧氣(~93%)。再根據用戶用氧需求，用氧壓機將氧氣壓縮到壓力供臭氧脫硝制氧機。

氧氣純度：90-95%

氧氣產量：10-10000Nm³/h

氧氣壓力：~2barg(可根據用戶要求進行調整)