項目 | 規格 |
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產地 | 日本 |
測定元素范圍 | 鈦(22Ti)~鉍(83Bi) |
樣品型態 | 固體、液體皆可 |
X射線源 | 管電壓: 50 kV 管電流:1mA(40~1000μA自動調整最shi電流輸出) |
X射線照射方向 | 上方垂直照射型 |
檢測器 | 高強度正比例計數器 |
冷卻方式 | 電子冷卻(不需液態氮) |
準直器(分析區域) | 0.1、0.2 mmφ(自動切換) |
樣品觀察 | 高解析彩色CCD鏡頭 |
樣品zui大可分析范圍 | 【固定】535×530 mm 【電動】260 mm x 210 mm(移動量250 mm (X);200 mm (Y)) 【樣品zui大高度】150 mm |
儀器尺寸 | 600 (W) × 815 (D) × 675 (H) mm |
掃描分析功能 | ■ 自動樣品平臺 ■ 高解析彩色CCD鏡頭 ■ 廣域(狹域)觀察系統 ■ 雷射自動對焦系統 ■ 掃描路徑紀錄系統 |
定性分析功能 | ■ 元素分析 ■ 能譜比對 |
定量分析功能 | ■ 電鍍膜厚測定 ■ 薄膜分析檢量線法(可針對單層、雙層或是多元合金單層膜厚) ■ 薄膜分析FP法(zui高一次分析五層) |
標準配件 | ■ FT系列專用桌上型Dell計算機(含液晶屏幕、鼠標、鍵盤) ■ 數據統計處理系統 ■ 儀器硬件確認片一組(含強度、能量、分辨率及光徑校正) |
可加購選項 | ■ 微小準直器0.05、0.025 × 4 mmφ ■ 操作游戲桿 ■ 大型印刷電路板專用平臺 ■ 金屬電鍍膜厚標準品 ■ 油壓機與制錠機 |
設置需求 | ■ 建議桌面尺寸:1500 (W) × 1000 (D) mm ■ 使用電源:AC100~240V(50~60Hz)/400VA |
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