1 產品簡介
本產品設計用于蒸發uL/min級的水,并將其混合到載氣中,形成濃度均勻的混合氣體。相對于傳統鼓泡法(bubbler)可調性和穩定性不足的缺點,STG-AT01所得到的水氣濃度連續穩定,而且線性可調。本產品包含三個部分:(1)精密微量泵;(2)CEM3000型可控蒸發器;(3)載氣流量計,確保從水計量、水蒸發、載氣計量、水氣載氣混合、輸出防冷凝等每一個步驟都受控。
2 規格參數
蒸發量 uL/min | 1-100 |
流量總量精度% | 優于±1 |
流量波動% | 優于±2 |
輸出溫度℃ | ≤200 |
最大耐壓 bar | 15 |
功率 kW | 0.6 |
輸出接口 | Ф6直管 |
外形尺寸mm | 400*260*250 |
重量kg | 5 |
可加裝配件 | 已內置預熱混合器 |