光氧等離子一體機凈化VOCs原理：利用“高頻高壓脈沖電暈法”技術，在線筒式“等離子發生反應器”內進行電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體;即：當廢氣經過等離子發生器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄(ns)的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產生大量高能電子和具有*氧化性能的羥基自由基(˙OH、˙HO2、˙O )、以及氧化性*O3 等高能活性粒子，與廢氣中有機物分子進行非彈性碰撞，使有機物分子化學鍵斷裂，發生一系列復雜氧化、降解化學反應，終使廢氣中有毒有害有機物轉變為無害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。

光氧等離子一體機兩者根本的區別：

1.凈化現象不*：靜電凈化是一種物理現象，它不改變空氣的固有特征，而只是使空氣中的灰塵顆粒變少;等離子凈化涉及到物理化學現象，會生成一些新的物質，利用第四物質體態，產生大量高能電子和具有*氧化性能的羥基自由基，發生系列物理化學反應。

2.電壓供給不*：靜電電壓是恒穩的電壓作用，而等離子電壓形式多樣 直流和交流的都可，放電電壓要達到起暈電壓才發生。

3.除塵原理不*：靜電凈化是使灰塵帶電，通過電極作用吸附除塵，等離子使灰塵(如油煙顆粒)帶上不同(正、負)的電荷，從而自相吸引，聚集成大團而沉降，這樣空氣也得到了凈化。。兩者經常互相補充使用。

4.凈化效率不*：靜電凈化一般只能除去空氣中灰塵之類，處理效率低;等離子體可以處理各類廢氣(油煙、殺菌、VOCs之類)，已經廣泛用于VOCs治理。

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