氧分析儀質譜分析法是利用不同離子在電場或者磁場中運動軌跡的不同，把離子按質荷比分離而得到質量圖譜，可以得到樣品的定性定量結果。質譜儀按照常用的質量分離器不同可分為掃描磁扇式磁場質譜儀和四極質譜儀，飛行時間質譜儀等幾種類型。目前工業應用上通常采用的是掃描磁扇式質譜儀。四極質譜儀的靈敏度高，適合實驗室或科學研究。掃描磁扇式的穩定性和重復性較高，適合工業應用。
在儀器應用的過程中，影響因素種類較多且變化較復雜，而要想有效地控制這些影響因素及排除干擾測定的因素則困難比較大。例如微量氧的測定，不但要嚴格控制系統材質和密封，而且系統的潔凈等諸多因素也必須逐一解決好，否則，氧成分分析不會得到準確的測定結果。而對于氣體中微量水含量的測定，除了考慮以上提到的各種影響因素外，還必須考慮到樣氣中的水在管道內的吸附平衡問題，而這一問題的妥善處理必須依靠反復試驗，了解其變化情況和規律，掌握其中的操作技術，以便得到準確無誤的結果。
氧分析儀
儀器作為一種計量檢測工具，在正常運行情況下，給出的數據絕大多數都是相對量值，測定數據是否準確及準確的程度（精度），儀器本身是無法提供的，也是無法證實的。必須依靠外圍技術工作完成，這就是分析數據的驗證工作。
（1）儀器線性關系的驗證。首先，為確保儀器的正常運行，分析儀器作為計量儀器的一種，必須每年經過*按照國家制訂的規程進行檢測，方能許可使用。同時，每年還需要用系列標準氣體檢查儀器在整個線性范圍內的線性關系是否保持正常的狀態。否則盲目相信分析儀器（即使是進口儀器）的完好程度肯定會使錯誤的數據導致生產管理及質量管理上的失誤。
（2）誤差分析。在分析儀器的應用過程中，對于每一次測定結果的數據，必須作出誤差分析，以確定數據分析的真實性、可靠性和可信程度。一個合格的分析工作者是不會也不應該隨隨便便地把每次分析測定的結果上報或公布的。一般是在測定結果得出后，經過誤差分析，在確定分析數據的誤差總和小于規定的允許誤差時，才將這一個（或一組）數據視為正確測定結果上報或公布。否則，不準確的數據會給生產管理者帶來嚴重的不良后果。
