無塵烘箱，MES百級烘箱簡介：
無塵烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中的堅膜工藝、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、橡膠、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱，MES百級烘箱技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍 | 室溫＋10℃～250℃ |
溫度波動度 | ±0.5℃ |
溫度均勻度 | ≤±2℃ |
溫度過沖 | ≤5℃ |
工作室尺寸（單腔） | 根據(jù)要求定制 |
潔凈度（class） | 100級（符合FED-STD209E 標準） |
功率 | 根據(jù)內(nèi)部尺寸而定 |
氣流控制方式 | 強制循環(huán)通風，控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定之溫度點通過PID 自動運算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量，終達到平衡 |
氣流循環(huán)裝置 | 內(nèi)置空調(diào)間、循環(huán)風道及通風電機 |
加熱方式 | 優(yōu)質(zhì)不銹鋼加熱器 |
隔板 | 每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
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箱體外壁材料 | 冷軋鋼板靜電噴塑 |
箱體內(nèi)壁材料 | 為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316 或SUS304） |
保溫材料 | 優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉 |
氮氣接口 | 能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行；氮氣流量計需安裝在箱體的正面，進氣口安裝在箱體的后部， |
電磁門鎖功能 | 有定時開啟門鎖功能，設(shè)備裝有電磁鎖和定時器，設(shè)備運行時電磁鎖動作將門鎖住，當定時時間到后電磁鎖斷電將門打開，同時進行聲光提醒（注：定時器只控制電磁鎖和聲光提醒器，不需控制加熱器和電機）。設(shè)備還裝有自動/手動定時開關(guān)，可在不需定時的時候手動開啟電磁鎖（定時器具有復位功能 |
超溫保護裝置 | 采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時自動切斷加熱電源并進行聲光報警、超溫保護控制儀采用LED 顯示控制器 |
計時方式 | 溫度達到工藝設(shè)定值時開始計時，并在計時結(jié)束時有蜂鳴提示 |
排風口 | 直徑50mm的排風口,安裝有調(diào)節(jié)閥 |
腔門密封性 | 密封條耐高溫>300℃ |
接地安全 | 安全保護，接地線 |
電氣安全保護 | 風機過載保護;加熱系統(tǒng)超溫保護 |
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MES接口 | MES接口,可連接MES系統(tǒng) |
| 管理生產(chǎn)單元有關(guān)的記錄和表格，包括工作指令、配方、工程圖紙、標準工藝規(guī)程、零件的數(shù)控加工程序、批量加工記錄、工程更改通知以及班次間的通訊記錄，并提供了按計劃編輯信息的功能。 |
| 能通過數(shù)據(jù)采集接口來獲取生產(chǎn)單元的記錄和表格上填寫的各種作業(yè)生產(chǎn)數(shù)據(jù)和參數(shù)。 |
| 提供工件在任一時刻的位置和狀態(tài)信息。其狀態(tài)信息可包括：進行該工作的人員信息；按供應(yīng)商劃分的組成物料、產(chǎn)品批號、序列號、當前生產(chǎn)情況、警告、返工或與產(chǎn)品相關(guān)的其它異常信息。 |
| 以作業(yè)、訂單、批量、成批和工作單等形式管理生產(chǎn)單元間工作的流動。 |
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