產品介紹
AST10-ALC模擬型質量流量控制器響應快，精度高。控制范圍廣，量程范圍為5SCCM~30SLM，小可以測量調節1SCCM的流量，可用于非常小的流量的控制。
產品概述
◆熱式原理，響應快，精度高
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
AST10-ALC采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
產品應用.
產品參數
量程范圍 | 5SCCM～30SLM |
準確度 | ±1.0%F.S |
溫度：±1℃ | |
線性 | ±0.5%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時間 | <1.5s |
模擬量 | 0～5V、4～20mA |
供電 | ±15VDC、24VDC |
工作溫度 | 0～50℃ |
工作壓力 | 工作壓差：0.02～0.5Mpa |
大耐壓 | 3Mpa/10Mpa |
電氣連接 | DB15孔、DB9針 |
漏率 | 1×10-9SCCSHe |
溫度系數 | ±0.015%F.S/℃ |
底座材質 | 316L |
密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠 |
接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
AST10-ALC 產品選型表
| 系列號 | AST10-AL |
| 產品類型 | 【C】質量流量控制器 【M】質量流量計 |
| 耐壓范圍 | 【M】3MPa 【Z】10MPa |
| 流量范圍 | 【005C】5SCCM 【010C】10SCCM 【020C】20SCCM 【030C】30SCCM |
| 【050C】50SCCM 【100C】100SCCM 【200C】200SCCM 【300C】300SCCM | |
| 【500C】500SCCM 【001L】1SLM 【002L】2SLM 【003L】3SLM | |
| 【005L】5SLM 【010L】10SLM 【020L】20SLM 【030L】30SLM | |
| 被測介質 | 詳見密度參照表 |
| 流量輸入信號 | 【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA |
| 輸出信號 | 【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA |
| 供電電壓 | 【5】±15VDC 【4】24VDC |
| 密封材質 | 【V】氟橡膠 【T】聚四氟乙烯 【N】氯丁橡膠 【Y】其他 |
| 使用接頭 | 【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他 |
| 選型舉例 | AST10-AL C M 500C 007 A1 B1 5 V B |
