電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且室內的氣體和種類非常多,所以電子無塵車間對純度和潔凈度要求高:
首先、室內空間的空態噪聲等級應該不大于60db(A)
其次、無塵車間的室外與室內的靜壓差不小于10pa,潔凈度區與非潔凈度區不應小于5pa。
再次、電子制造行業的無塵車間滿布比應該合理分配,單向流潔凈室大于等于40%,垂直流潔凈室小于60%,只有這樣才可以,否則就會變成局部單向流。
后、有關電子無塵車間的凈化空調系統加熱器,應設置新風和超溫斷電保護(若采用點加濕時應設置無水保護)。天氣比較冷的地區,應該設置新風系統的防凍保護措施。
高性能的無塵車間,能夠為電子芯片的生產和制作,創造高潔凈度的大氣環境,只有在這樣的環境下,才能夠保證電子芯片的安全生產。
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