光氧廢氣處理設備廢氣源集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣，接入主管道)噴淋吸收塔(吸收掉能溶于水的無機廢氣、粉塵以及顆粒物，降低廢氣溫度，為等離子提供優良的運行環境)一級低溫等離子處理設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質)高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)凈化吸收塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些無機氣體，水洗小分子碎片，利于檢測達標)煙囪高空排放(也可低空排放)。
廢氣經阻火器過濾后，通過主進閥、旁通閥的同步反向切換調節進入熱交換器，熱交換器的熱氣升高一定溫度后進入預熱室、經過預熱室的加熱使廢氣升溫到催化起燃溫度（250度）然后進入催化反應床，在催化劑的活性作用下，有機廢氣進行氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，后以較低的溫度經引風機排入大氣。催化燃燒是借助催化劑在低溫下（200－400度）實現對有機物的*氧化，因此，操作簡單、安全、凈化效率高，在有機廢氣特別是回收價值大的有機廢氣凈化等領域應用廣泛。
光氧廢氣處理設備
特點：
① 不需要高成本的化學藥劑，運行穩定，耐腐蝕，耐負荷沖擊能力大。
② 針對特定有害氣體成份馴化適當的微生物，提高單位容積的負荷率。
③ 填料采用有機無機混合填料，比表面積大，孔隙率高，并可為微生物
提供營養，可支撐大量不同種群微生物群。
④ 填料活性介質的損失小、可減少能耗，降低運行費用。
⑤ 采用強化自然生物降解污染物，無二次污染物產生。
⑥ VOC去除率高，對H2S的去除率可達99%。
⑦ PLC控制系統自動運行，無需人員管理。
光催化是常溫深度反應技術。光催化氧化可在室溫下將水、空氣和土壤中有機污染物*氧化成無毒無害的產物，而傳統的高溫焚燒等離子體就是處于電離狀態的氣體，等離子體由大量的子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數必須體表現出電中性，這就是“等離子體”的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。
