臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物，然后在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。

隨著環保要求的日益嚴格，傳統的煙氣脫硫脫硝工藝將不能滿足嚴格的減排要求，此外，傳統工藝還存在設備投資高、占地面積大、系統復雜等缺點。因此開發工藝簡單、可靠的脫硫脫硝工藝具有重要意義。

　　采用臭氧的高級氧化技術不僅對NOX具有良好的脫除效果，而且對煙氣中的其他有害污染物，比如重金屬汞也有一定的往除能力。

　　影響臭氧同時脫硫脫硝的因素主要有摩爾比、反應溫度、反應時間、吸收液性質等。

　　目前，該技術在國外已進進產業化應用階段，但現階段臭氧的制備用度較高，制約了該技術的推廣使用，隨著臭氧發生裝置的逐步改進，臭氧氧化同時脫硫脫硝技術必將會有更加廣泛的應用遠景。

臭氧氧化脫硝工藝可廣泛應用于：1、以煤、焦炭為燃料的公用工程鍋爐。2、以天然氣、煤、重油為燃料的工業鍋爐。3、鉛、鐵礦、玻璃、水泥等各種工業窯爐。4、處理生物廢料及其它工業廢料的焚燒爐。5、酸洗和化工過程的酸性氣體。6、催化裂化尾氣。