等離子廢氣處理設備在車間機器產生廢氣的具體部位加上密閉系統，然后安裝相對應的管道，利用風機作用將廢氣抽出；另外，一方面在車間四周的地面部位安裝一定量的鼓風機，將車間內散布的廢氣由下而上鼓氣，另一方面在車間頂部安裝抽風機，使抽氣量大于鼓風量，從而車間內產生一定的低負壓，保證了車間內廢氣不會像外擴散。抽出的廢氣統一由管道外送進行處理。   

等離子廢氣處理設備廢氣源集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣，接入主管道)噴淋吸收塔(吸收掉能溶于水的無機廢氣、粉塵以及顆粒物，降低廢氣溫度，為等離子提供優良的運行環境)一級低溫等離子處理設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質)高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)凈化吸收塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些無機氣體，水洗小分子碎片，利于檢測達標)煙囪高空排放(也可低空排放)。

廢氣經阻火器過濾后，通過主進閥、旁通閥的同步反向切換調節進入熱交換器，熱交換器的熱氣升高一定溫度后進入預熱室、經過預熱室的加熱使廢氣升溫到催化起燃溫度（250度）然后進入催化反應床，在催化劑的活性作用下，有機廢氣進行氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，后以較低的溫度經引風機排入大氣。催化燃燒是借助催化劑在低溫下（200－400度）實現對有機物的*氧化，因此，操作簡單、安全、凈化效率高，在有機廢氣特別是回收價值大的有機廢氣凈化等領域應用廣泛。

固體表面吸附了吸附質后，一部被吸附的吸附質可從吸附劑表面脫離，此現附。而當吸附進行一段時間后，由于表面吸附質的濃集，使其吸附能力明顯下降而吸附凈化的要求，此時需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。因此在實際吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循環過程，達到除去廢氣中污染物質并回收廢氣中有用組分。

燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。

等離子體就是處于電離狀態的氣體，等離子體由大量的子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數必須體表現出電中性，這就是“等離子體”的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。