純化水設備配置說明：在原水（自來水/井水）保證3公斤以上壓力的情況下，可以不配原水泵和源水箱。

  電子廠超純水設備工藝流程及工藝說明：

      純化水工業流程：
 1、預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱（無菌水箱）－純水泵-紫外燈－用水點
 2、預處理－反滲透－中間水泵－EDI裝置－純化水箱（無菌水箱）－純水泵-紫外燈－用水點
  水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（15MΩ/cm）

  雙級反滲透設備示意圖：

 電子廠超純水設備工藝流程圖二：

   1.石英砂過濾器
    石英砂過濾器設計流速為8-15m/h，過濾器內裝4-60目的石英砂濾料。可以有效的去除水中的懸浮物 ，顆粒物、機械雜質、膠體雜質，降低水的混濁度。過濾器反洗時由于表面濾層及濾膜被破壞，過濾效率 明顯降低，所以反洗后宜采用低流速運行，以便濾膜的形成。石英砂過濾器內部設置有合理的上下布水系 統，對比其它過濾器具有布水更均勻，出水水質很穩定等優點，同時保證了系統水通量。在過濾器進出水 管道上設有壓力表，可顯示過濾器的運行壓力及進出水的壓差，過濾器的反洗按照進出水壓差或出水濁度 來確定(當進出水壓差達到0.1MPa時應進行反洗或濁度大于1度時)，由前級自來水來實行過濾器的反洗， 為降低反洗強度，過濾器水反洗強度為15L/m2.S，有條件宜采用氣水擦洗法，濾料的反洗膨脹率為40%為 宜。
  2.活性炭過濾器
    活性炭過濾器設計流速為8-15m/h，過濾器內裝凈水果殼活性炭，主要去除原水中的余氯及部分 重金屬離子、有機物、異味等，經活性炭過濾器吸附后，水中的余氯去除率為99.9%,出水符合RO進水條件 。因其比重較輕，反沖洗強度為4-8L/m2·S，濾料的反洗膨脹率為40～50%，反洗時宜選用低流速反洗， 以防止活性炭被反洗水沖走。在活性碳過濾器進出水管道上設有壓力表，可顯示過濾器的運行壓力及進出 水的壓差，過濾器的反洗按照進出水壓差來確定(當進出水壓差達到0.1MPa時進行反洗)，由反洗水泵來實 行過濾器的反洗，活性炭過濾器濾料（活性炭）更換周期以出水的余氯含量≤0.1PPM及有機物含量 CODcr<1.5mg/L，兩項指標確定，出水水質應定期監測。
  3.鈉離子交換器/軟化器
   軟化器的原理是利用離子交換樹脂中離子的交換作用將水體中硬度成分如：Ca2+，Mg2+等離子給與置 換去除，生水由上而下通過交換器內的鈉離子交換劑進行軟化，成為含極少的鈣、鎂、鹽類的水（即軟化 水）；經鈉離子軟化器軟化后的水，其剩余硬度不超過0.03mmol/L。軟化器中所填裝的軟化樹脂（陽樹脂 ），需要工業鹽再生，再生周期需要根據客戶原水水質與使用情況具體而定，一般給出參考周期7-15天。
  4.保安過濾器
    保安過濾器選用濾芯精度為5um，在工藝中主要用于截留前置管道、設備中可能泄漏的機械雜質或破 裂的活性炭顆粒，確保RO進水的清潔度，以防前級過濾器泄漏的機械雜質進入反滲透膜元件，這種顆粒經 高壓泵加速后可能擊穿反滲透膜元件，造成大量鹽份的泄漏，同時可能劃傷高壓泵的葉輪，保安過濾器內 的濾元采用聚丙烯噴熔工藝制作，過濾微孔具有：孔形呈錐形結構;過濾效率高，可進入深層過濾;納污容 量大，使用壽命長;采用卡式結構，便于快速更換。
保安過濾器的濾芯應定期更換，一般可根據進出水壓差來決定。
保安過濾器進出水管道上均設有壓力表，可顯示保安過濾器的進出水壓力及進出水壓差。
  5.反滲透系統
    反滲透裝置在工藝中主要去除水中99%以上的陰、陽離子及有機物、熱源和細菌等。反滲透（RO）一 級脫鹽系統由RO膜組件、高壓泵、RO清洗裝置等組成。
    反滲透是一種借助選擇透過（半透過）性膜的功能，以壓力為推動力的膜分離技術膜元件，由反滲透 膜導流布和中心管等制作而成，將多根RO元件裝入不銹鋼耐壓殼體內，組成RO組件。本工藝脫鹽系統的關 鍵，成熟的工藝設計和合理的操作，控制及管理，直接決定著系統的正常、穩定出水。并關系到反滲透膜 的使用壽命，經反滲透處理后的出水，去除了絕大部分無機鹽和幾乎所有的有機物，微生物（細菌、熱源 等）從而確保了本系統產品水的高質量、高品質。
    反滲透出水（脫鹽純水）去中間水箱，另一部分由管道匯集后成濃水（主要含鹽份、機械雜質、膠體 、有機物等）隨小部分未透過水排入下水道。反滲透主體設備選用美國HYDRANAUTICS公司生產的高脫鹽率 超低壓芳香族聚酰胺膜元件。該膜元件屬節能型低壓膜，是世界上的卷式RO膜元件，具有結構緊湊 ，產水量特別大脫鹽率高（單支膜試驗數據>99.3%），操作壓力低，耐細菌侵蝕性好，適用PH范圍廣（PH 為3-10）的優點。

  6.EDI電除鹽模塊：
  

（1）EDI概述 
     連續電除鹽（EDI，Electro deionization）,是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這 些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被去除的過程。這一過程中離子交換 樹脂是被電連續再生的，因此不需要使用酸堿對之再生。這一新技術可以代替傳統的離子交換裝置，生產 出電阻率較高的超純水 
 （2）EDI的工作原理 
    在EDI設備中，進水中的各種離子通過樹脂交換后被脫除，水得到了純化。此時是利用離子交換原理來脫 除水中的離子。由于膜對兩邊加有電壓，水分子被電解為氫離子和氫氧根離子去再生樹脂，同時，被氫離 子和氫氧根離子交換下的離子在電流的作用下，被遷移到濃水室而排放，從而實現連續再生連續使用的目 的。 
   1、進水分布到EDI模塊中各室； 
   2、在直流電作用下各種離子向相應電極遷移； 
   3、與混床一樣，水中的各種離子被離子交換樹脂所交換，然后被交換的離子通過各自相應的離子交換膜 遷移到濃水中。淡水室中的水流出模塊（只有離子可通過離子交換膜，而水不能通過）而成純水。 
   4、為提高和維持和維持濃水室的電導，大部分濃水進行循環； 
   5、循環的濃水需少部分排放，由進水補充。此部分排放濃水可返回到前級RO裝置重復使用；
   6、水分子在電壓作用下被電離為氫離子和氫氧根離子，通過各自相應的離子交換膜遷移到樹脂層，連續 再生樹脂。 
（3）EDI的特點
  1、無須用酸堿再生、無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施、使用安全可靠,避免工人接觸酸堿
  2、節省了再生用水及再生污水處理設施
  3、降低了運行及維護成本
  4、占地面積小、安裝簡單、產水率高(可達95%)
  5、連續運行、產品水水質穩定、不會因再生而停機。

 純化水工藝流程：
 1、預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
 2、預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
  水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準：電阻率≥15MΩ/cm。
 
 純化水的應用領域：
    超純水經常用于微電子工業、半導體工業、鉛蓄電池生產、電鍍行業、制藥行業、精細化工和實驗室。

    EDI純化水也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產用水、日用化妝品廠、汽車用品廠、發電廠的鍋爐補給水，以及其它用途的超純水。