METONER4800/R4900遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器
METONER4800/R4900遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器
MET ONE R4800 和 R4900 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，可靠性高，能提供顆粒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的精確數(shù)據(jù)。緊湊的設(shè)計(jì)，靈活的粒徑、流量和通信解決方案選項(xiàng)，可滿足制藥，半導(dǎo)體，硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示器行業(yè)對(duì)潔凈室監(jiān)測(cè)的特定需求
遠(yuǎn)程空氣計(jì)數(shù)器 | MET ONE R4800 及 R4900 系列
- 易于同任意FMS系統(tǒng)集成
MET ONE R4800 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS -485 串行通信，MET ONE R4900 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器則使用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 4-20mA 接口。 - 靈活方便，可用于所有的遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器應(yīng)用
靈敏度范圍從 0.3 um 到 0.5 um，流速范圍從 0.1cfm 到 1.0cfm。計(jì)數(shù)器上的 LED 狀態(tài)指示燈可閃爍并可在連接器處設(shè)置信號(hào)用于報(bào)警。駐留有 RS-485 組態(tài)編程（計(jì)數(shù)時(shí)間，保持時(shí)間，告警級(jí)別，告警延遲和縮放），通過電源周期保持（電源的開和關(guān)）。 - 簡(jiǎn)便安裝選項(xiàng)
小型不銹鋼外殼適應(yīng)于大多數(shù)制程環(huán)境。因?yàn)椴粠в袝?huì)破壞氣流的風(fēng)扇，使 MET ONE R4800/R4900 系列空氣顆粒計(jì)數(shù)器可放置在接近敏感的制程區(qū)域。
| 小粒徑 | R4803 / R4903 - 0.3um R4805 / R4815/ R4905 / R4915 - 0.5um |
| 流速 | R4803 / R4805 / R4903 / R4905 - 0.1 CFM (2.83 LPM) R4815 / R4915 - 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| 流量控制 | 扼流噴嘴；要求 18” 汞柱真空，低 450 mbar |
| 通道粒徑(μm) | R4803 / R4903 –通道 1 / 通道2 - 0.3 / 0.5 R4805 / R4815 / R4905 / R4915 – 通道 1 / 通道2 - 0.5 / 5.0 |
| 光源 | 激光二極管（10年MTTF） |
| 符合損失 | 在2,000,000顆/立方英尺濃度時(shí)低于5%的損失 |
| 入口壓力 | 0.1'' Hg 真空 |
| 指示燈 | 計(jì)數(shù)器接通電源時(shí)LED電源燈會(huì)亮；當(dāng)傳感器校正需要檢查時(shí)校正/報(bào)警的LED燈會(huì)亮 當(dāng)計(jì)數(shù)值超出報(bào)警值時(shí)校正/報(bào)警deng會(huì)閃爍 |
| 電源 | 開集電極 FET 大反向電流 (on) 150 mA;大 VC 電壓 (off) 30 VDC |
| 連接器 | DB-15 (female) |
| 重量 | 0.3 公斤(10.7盎司) |
| 管路連接 | 入口，0.1 CFM，1/8”內(nèi)徑 入口，1.0 CFM，1/4”內(nèi)徑 出口，全部（真空），1/4”內(nèi)徑 |
| 儲(chǔ)存環(huán)境 | 運(yùn)行溫度：12 ~ 41°C (55 ~ 104°F) 相對(duì)濕度：20 ~ 95%，無冷凝 存儲(chǔ)溫度：-40 ~ 70°C (-40 ~ 122°F) 相對(duì)濕度：0 ~ 98%，無冷凝 |
| 訂貨時(shí)，請(qǐng) | 0.3 µm (R4803/R4903) 或 0.5 µm (R4805/R4815/R4905/R4915) 和 0.1 cfm (R4803/R4805/R4903/R4905) 或 1.0 cfm (R4815/R4915) |
隨附配件:
| 部件編號(hào) | 描述 |
| 500052 | 等動(dòng)力探頭；DB-15連接器 |
| 701113 | 操作手冊(cè) R4800 |
| 701130 | 操作手冊(cè) R4900 |
可選配件
| 部件編號(hào) | 描述 |
| 2080442 | 清洗過濾器組件，0.2µ , 0.1 cfm (R4803 / R4805 / R4903 / R4905) |
| 2080443 | 清洗過濾器組件，0.2µ , 1.0 cfm (R4815/R4915) |
| 2082270-1 | 電源，110 VAC輸入，12 VDC輸出 多支持32型R4800計(jì)數(shù)器 |
| 2082270-2 | 電源，230 VAC輸入，12 VDC輸出 多支持32型R4800計(jì)數(shù)器 |
| 2081524-11 | 墻板，R4800/R4900系列 |
