等離子催化氧化是指有機廢氣經等離子激發、離解活化，然后活化的廢氣經高能射線照射在稀有金屬氧化物表面，與廢氣中的氧氣發生催化氧化反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。等離子與催化氧化技術的結合解決了單一用等離子時能量利用率、處理效率低及應用條件高的缺陷。
等離子催化氧化設備工作原理：
*階段：廢氣激發、離解活化
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體，利用高能粒子與氣體分子 （原子）發生非彈性碰撞，將能量轉換成基態分子 （原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程，使氣體處于低溫活化狀態。
第二階段：活化廢氣催化氧化分解
采用高能射線照射稀有金屬氧化物，活化廢氣在金屬氧化物表面發生催化氧化反應，利用廢氣中的氧氣與廢氣反應生成水和二氧化碳，實現廢氣的凈化。
等離子催化氧化設備適用范圍：苯系物、酯類、惡臭物質等多種有機物
– 凈化效率高：高達90%
– 電子能量高：單位體積處理效率高，占地面積小
– 運行費用低：僅消耗少量電能。
占地面積小：設備體積小，結構緊湊，安裝工期短；
無二次污染：不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子反應中所產生的副產物。
