Genesis-II型(510)是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡之中型分析掃描電鏡(馳奔儀器)
Genesis-II型掃描電鏡是全數字化控制,專業級電子顯微成像分析儀器。
中型分析掃描電鏡(馳奔儀器)采用立方結構樣品室,拓展為中型樣品倉,具有更大有效分析空間,全內置五軸優中心自動樣品臺,具有更大的自由行程,靈活優化電子顯微成像及分析信號幾何效率,獲得更*成像分析效果。
硬件特征:
全數字控制,專業級電子光學系統;
主機電器一體化,結構緊湊,占地小 ;
中型樣品倉,接配專業EDS、WDS、EBSD、CL等,分析附件探測器更協調工作 ;
優中心樣品,五軸馬達驅動,計算機導航 ;
高真空成像模式 。
五軸優中心樣品臺
馬達驅動,計算機導航控制
全內置設計,樣品臺操作無真空貫穿件活動部件,高可靠
性能指標
型號 | Genesis-510 全自動掃描電鏡 |
樣品臺 | 五軸優中心,全自動 X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°無限 | T:-20°~90° |
電子槍 | 預對中鎢燈絲 三極自動偏壓 |
加速電壓 | 200V-30KV (大發射電流190μA @ 30KV/大電子槍功率:5.7W) |
探測器 | ET-SED |
物鏡光闌 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可變光闌 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍數 | 10-300,000 X |
樣品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探測器接口 |
大樣品尺寸 | Φ150mm X 60mm |
工作距離 | 0-60mm |
掃描光柵運動 | 電位移 ±50μm, 電旋轉 0-360° |
掃描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可變 TV模式:800x 600像素 慢掃描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空優于9x10-3Pa |
真空系統 | 全自動真空系統,真空高壓連鎖安全保護(高真空時間小于3分鐘) -渦輪分子泵 |
自動功能 | 亮度/對比度, 聚焦, 電子槍對中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對中 |
軟件系統 | 基于Win8,Virtuoso1.1控制軟件. 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。*鼠標鍵盤操作。 |
主機尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 預對中燈絲,樣品托,碳導電膠帶,導電銀膠,工具 |
可選配置 | 四象限BSED | 樣品室攝像機 | 升級LaB6/CeB6陰極 | 3D重構成像軟件 | 拉曼光譜 | EDS能譜儀 | WDS波譜儀 | EBSD 電子背散射衍射 | CL 陰極熒光 |電子束曝光裝置 |