Genesis-I 型是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡系列之小型分析掃描電鏡(馳奔儀器)。
Genesis-I 小型分析掃描電鏡(馳奔儀器)是全數字化控制,專業級電子顯微成像分析儀器。Genesis-I 型具有*電子光學系統,接配專業級的射線能譜儀【EDS】,可獲得比臺式掃描電鏡更快更準的微區化學成分信息;五軸優中心樣品臺,可靈活優化電子顯微成像分析效果;Genesis-I 是一款經濟實用的分析型掃描電鏡。
硬件特征:
全數字化控制,專業級電子顯微成像分析配置;
五軸優中心樣品臺,可靈活優化成像及分析信號探測效果;
接配可伸縮探測器,拓展專業EDS配置,也可拓展WDS,EBSD等專業微區分析附件;
高速渦輪分子泵真空系統,可隨時開關機,不影響抽速,3分鐘成像;
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性能指標
型號 | Genesis-500 分析型掃描電鏡 |
樣品臺 | 五軸優中心,全手動 X: 40mm Y: 40mm Z: 5-45mm R: 360°無限 T: -20°~90° |
電子槍 | 預對中鎢燈絲 三極自動偏壓 |
加速電壓 | 200V-30KV (大發射電流190μA @ 30KV/大電子槍功率:5.7W) |
探測器 | ET-SED |
物鏡光闌 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可變光闌 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍數 | 10-300,000 X |
樣品室 | 內徑φ150mm,Se、Bse、EDS等探測器接口 |
大樣品尺寸 | Φ96mm X 50mm |
工作距離 | 0-45mm |
掃描光柵運動 | 電位移 ±50μm, 電旋轉 0-360° |
掃描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,用戶可自定義可移動; TV模式:800x 600像素 ; 慢掃描模式,用于TV及聚焦模式; 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200,大3200x2400像素; 動態聚焦,傾斜補償 |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空優于9x10-3Pa |
真空系統 | 全自動真空系統,真空高壓連鎖安全保護(高真空時間小于3分鐘) -渦輪分子泵 |
自動功能 | 亮度/對比度, 聚焦, 電子槍對中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對中,自動照相,自動大圖拼接縫合。 |
軟件系統 | 基于Win8,Virtuoso1.1控制軟件. 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。*鼠標鍵盤操作。 |
主機尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 預對中燈絲,樣品托,碳導電膠帶,導電銀膠,工具 |
可選配置 | 四象限BSED | 3D重構成像軟件 | EDS能譜儀|
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