濟南潔凈廠房的微振控制設施設計
濟南潔凈廠房的微振控制設施設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。
設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：
- 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響。
- 設有精密設備、儀器的的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計。
- 對設有精密設備、儀器的潔凈室有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施。
- 潔凈室內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。
潔凈廠房的微振動控制設計，應按下列階段進行微振動測試分析：
- 有振動控制要求的潔凈室，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；主體結構應根據微振動控制的要求，適應加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。
- 有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求：宜采用隔振臺，應選用剛度適當的隔振器；通往潔凈室的管道，宜采用隔振支架、柔性連接等隔振措施。
