電子半導體行業超純水設備

電子級超純水設備出水水質*符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準）

電子工業對水質的要求：

     微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。

應用場合：

     ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；

     ☆超純材料和超純化學試劑；

     ☆實驗室和中試車間；

     ☆汽車、家電表面拋光處理；

     ☆光電產品；

     ☆其他高科技精微產品；

典型電子級超純水制備工藝：   

     ☆預處理----反滲透----水箱----陽床----陰床----混合床----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----精制混床----微孔膜過濾器----用水對象

     ☆預處理----一級反滲透----pH調節裝置----中間水箱----二級反滲透----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象

     ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象         新工藝

     ☆預處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過濾器----用水對象