技術參數：

基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面積 Z軸可移動范圍 
標準平臺 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm 
多功能平臺 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平臺 XY范圍 zui小步長 θ范圍 晶圓范圍 
真空運行平臺 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm 
標準平臺 155mm x 155mm 2μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 250mm 
快速運行平臺 155mm x 155mm 1μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 275mm

DUT支架 卡盤 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤 
150mm卡盤 150mm真空卡盤 晶圓，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2個獨立的卡盤，且還有一個附加卡盤 
PCB 150mm寬支架 PCB，移動裝置 NA NA NA NA

顯微鏡支架 移動范圍（XY） Z方向 zui小步長 
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA 
LAHS顯微鏡支架 150mm x 150mm 可選，zui大為100mm 2μm

主要特點：

1. 結構簡單、多功能；

2. 平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量；

3. *的模塊化設計可根據客戶的需要配置和升級；

4. 量程大、可配探針配件；