薄膜應力測量系統

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公司名稱韋氏納米系統（深圳）有限公司
品牌其他品牌
型號Toho FLX
所在地深圳市
廠商性質代理商
更新時間2018/10/22 14:56:24
訪問次數788

產品標簽:

薄膜應力測量系統測量系統

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公司介紹主營產品

First-Nano System GmbH

2003年創立于德國德累斯頓工業大學（Dresden University of Technology）
2008年香港成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司
2015年上海成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司中國代表處，負責中國區業務
2018年深圳正式成立韋氏納米系統（深圳）有限公司，更好的為中國南方區市場

產品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液

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光學透鏡和儀器，實驗室器具，專用儀器儀表，電化學設備和部件

產品簡介在線詢價

薄膜應力測量：
在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數有異，產生應力，進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲，而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應力。

薄膜應力測量系統產品信息

技術參數：

Toho FLX-2320-S薄膜應力計精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。

主要特點：

       ◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統可自動選擇適合的匹配之激光源；
       ◆系統內置升溫、降溫模擬系統，便于量測不同溫度下薄膜的應力，溫度調節范圍為-65℃至500℃；
       ◆自帶常用材料的彈性系數數據庫，并可根據客戶需要添加新型材料相關信息至數據庫，便于新材料研究；
       ◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔；
       ◆具有薄膜應力3D繪圖功能。

用戶界面：

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數據庫。自動保存測量數據等方便性能。

每個用戶可分別設定訪問權限。使用自帶軟件實現簡單卻性能高，簡單測量。