DSN-700大量程氣體質量流量控制器（帶通訊接口）技術標準
標準介質：（N2）
量程：（0~10,30）SLM
準精度：±1％F.S；
重復精度：±0.2%F.S
線性：±（0.5～1）％F.S
工作壓差范圍：0.05～0.3MPa；
耐壓：3，10MPa
工作環境溫度：5～45℃；
輸入輸出信號電壓：0～+5.00V
電源：24V
電連接器：D15pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：約1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.1/4〞.3/8〞....
VCR接頭：1/4〞.3/8〞.1/8〞........
一、概要介紹
質量流量控制器是與東莞德欣產品DSN-MFC600CD以及DSN-MFC700型配套的控制操作觸屏。實現MFC對氣體的控制儀表。
功能：
①流量設定：在閥控狀態下，以F.S滿量程為基準，設定范圍“0~110%F.S”（注：“0”-根據MFC不用，范圍可能是2~110%）。
②流量讀?。鹤詣幼x取實時流量值。
③清洗（清掃）：在安裝氣路過程中，方便清除管道內的異物，確保管路的清潔。注：間斷使用，不可長時間使用。
④關閉：實現MFC的關閉功能。注：間斷使用，不可長時間使用。
⑤累積流量設定：控制一定總量的氣體，到想要的總量，自動關閉。在“流量設定”的某一個值下，設定氣體總量，實現總量控制。
⑥定時控制：某一設定流量下，在一定時間內控制流量。
⑦實時流量記錄：查看氣體流量的記錄表?？梢杂肬盤存貯。
⑧實時流量曲線：查看氣體流量的實時曲線。
⑨多氣體種類的選擇。實現一個MFC控制多種氣體。
⑩分段流量控制：氣體流量的曲線控制
