SRS斯坦福UGAPM系列多達300個amu氣體分析儀 SRS斯坦福UGAPM系列多達300個amu氣體分析儀 UGAPM系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。他們的操作從20 Torr到1 mTorr。該進口連續以低流速（約5x10-5 mbar/秒）的氣體采樣，使該儀器成為在線分析的理想設備。UGAPM系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。他們的操作從20 Torr到1 mTorr。該進口連續以低流速（約5x10-5 mbar/秒）的氣體采樣，使該儀器成為在線分析的理想設備。UGAPM的應用包括cvd/pecd/rie/lpcvd，真空鍍膜/等離子腐蝕，蒸發，濺射沉積，真空熱處理，目標燃燒，泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸，污染研究，小體積分析（0.1 mL范圍）等。這些分析儀也很容易操作和維護。所有的組件都可以從前端面板或遠程計算機控制。在UGAPM系統中，采用1/16或1/8 OD的SS毛細管來適應中間真空取樣。有了這個配置，進程腔和分析器之間幾乎沒有死容量
瑞軒電子科技（上海）有限公司-------國內*儀器儀表供應商
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公司主要經營：
一、傳感與測量儀器 （GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E E等進口品牌)
二、氣體檢測儀（美國華瑞RAE,梅思安MSA，德爾格Draeger等進口品牌)
三、實驗室儀器（德國IKA，美國奧豪斯，上海一恒，中科中佳，上海安亭，湖南湘儀等品牌）
四、水質檢測儀（美國哈希hach,安捷倫等品牌）
五、氣動液壓元件（派克Parker,阿托斯Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe等品牌）
六、無損檢測儀（德國KK，日本新寶，中國臺灣泰仕，德國卡爾德意志等品牌）
七、代采購歐洲、美國等國外的高精密編碼器、傳感器、安全柵、泵閥、氣動液壓配件、儀器儀表以及各類自動化產品，并被廣泛應用于汽車、機械、鋼鐵、冶金、能源、石化、礦山、港口、軌道交通等眾多行業的國家重點企業。
一、傳感與測量儀器 （GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E E等進口品牌）
