GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
特點
- 可編程多氣體/多量程功能
- Brooks® MultiFlo™ 氣體數據庫包含數千種天然氣體測定結果，可用于建立修正函數
- 流量響應時間不足 1 秒，精度可達目標應用設定值的 1%
- 非常適用于各種氣體
- 快速響應，哈氏合金傳感器
- 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務端口
- 多協議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口
GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
優勢
- MultiFlo™ 技術能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設定新氣體和滿量程，從而大限度延長運行時間
- MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內即可完成新氣體的選擇操作
- 可大幅降低設備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
- 得益于基于標準的高級計量系統和校準技術，產品擁有出色的工藝氣體測量精度
- 耐腐蝕傳感器擁有*的長期穩定性，可確保良率和產能大化
- 對用戶開放的服務端口簡化了故障排除和診斷操作
- 各種橡膠密封件為各種應用提供了經濟實惠的性能靈活性
- 多協議通信接口可集成至現有系統
GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
應用
- 太陽能電池化學氣相沉積
- 生命科學實驗室
- 真空處理
- 納米技術/MEMS 制造
- 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統
- 非常適用于管匯系統/氣體輸送系統
GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
| 型號 | GF40 |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 50 slm |
| 精度 | 1% S.P. 35-100%
0.35% F.S. 2-35% |
| 大壓力 | 150 psig/10 bar |
| 重復性 | <0.20% S.P. |
| 多氣體多量程 | MultiFlo™ Available |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
| 模擬通訊 | 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
| 數字通訊 | DeviceNet™
EtherCAT™ Profibus® RS485 |
