Dffoz高濃度水中臭氧分析儀采用新的水中臭氧傳感器技術,設計用來檢測半導體濕法處理和其他工業領域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已經完成”預備清潔”,可以應用于高純度的半導體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。

Dffoz采用新的水中臭氧傳感器技術,設計用來檢測半導體濕法處理和其他工業領域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已經完成”預備清潔”,可以應用于高純度的半導體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。

Dffoz傳感器結合料IN USA公司創新的雙路取樣傳感技術(獲得),達到了的性能和消除對參比氣測量的需要。

Dffoz典型安裝包括一個Dffoz傳感器和一個控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通過7層Teflon線纜連接。

高濃度水中臭氧分析儀技術規格

傳感器：Dffoz-D

◆    制造商: IN USA INC(美國)

◆    應用 ：高濃度水中臭氧連續測量

◆    測量原理 ：紫外吸收技術,雙光路取樣測量技術

◆    紫外線光源：低壓汞燈

◆    測量單位 ：PPBw，mg/L

◆    量程 ： 可達到150mg/L

◆    精度：0.5mg/L或讀數1%（取大者）

◆    流量：高達150SLPM

◆    壓力：55PSI

◆    接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）

◆    外殼：FRPP

◆    焊接材料：PFA，Teflon，藍寶石，滿足半導體制程序要

◆    尺寸：138 X 171 X 82mm

控制器：MiniSCI-N

◆    20位背光LCD

◆    分辨率：0.1mg/L或0.1ppm

◆    循環時間：每隔0.5秒持續測量

◆    模擬輸出：4-20mA或0-10VDC

◆    數字 I/0：RS-232C

◆    診斷：內部診斷，報警提示

◆    遠程自動校零：標準遠程自動校零功能

◆    供電：90-240VAC  50/60Hz

◆    尺寸：143X 71X 241mm

◆    認證：CE