宿城區活性炭吸附設備供不應求常州天之尚環保有限公司經過多年的艱苦創業，依靠*的技術、科學的管理、托管式運營模式，使企業規模迅速擴大，管理水平不斷提高，正逐步向著高新現代化企業發展。

反應除去部 1，由容器 11、以及堵塞該容器 11 的開口部的蓋 12 來構10成。容

器 11，是由氧化鋁 （ alum ina）、 石英等耐蝕性材料構成的有底圓 筒狀的部件，

在其底部上形成有導出管 5 的開口部，另外設有多孔板 13,以防填充在內部的廢氣處

理劑 2 漏出。
    蓋 12 ，是由氧化鋁、石英等耐蝕性材料來構成的板狀的部件，相對于 容器 11 

以自由裝卸的方式安裝，根據需要能夠更換填充在內部的廢氣處15理劑 2。另外 ，在

蓋 12 上形成有導入管 3 的開口部 。
    并且，在容器 11 內，填充有上述的粒狀的處理劑 2，但此時以使處理 劑的填充

率成為 30 70 體積%的方式被填充，使得不阻礙廢氣的順暢的 流動 。
    來自半導體制造裝置 21 的廢氣，經過導入管 3，導入到反應除去部 120內，在

此 ，由上述的化學反應除去有害氣體成分 ，被凈化的廢氣由泵 22吸引而從導出管 4 

排出到系統外部 。
    另外，在來 自半導體制造裝置 21  的廢氣中，在含有 s或者 P町等 的除去反應

中需要氧的有害氣體成分的情況下，從供氧管 5 將適量的氧和 廢氣共同送入反應除

去部 l內。
    25對于這樣的廢氣處理劑而言，由于多孔質且實質的表面積極其大  ，因 此與有

害氣體成分之間的接觸面積增加，可以增大處理劑單位量對應的廢 氣處理量  ，能夠

以少量的處理劑量來處理大量廢氣。
    另外，處理后的廢氣處理劑，變成    CaF2C 氟化鈣、螢石）、 CaSi03（硅酸鈣

〉 或者 Ca2CP04 )3C磷酸鈣〉， 這些鈣化合物，穩定且無害 ，30不需要任何后續處

理 ，進而能夠在氟原料、玻璃原料、磷原料等中再利用。
    進而，由于處理裝置的結構簡單 ，不需要特別的設備，因此設備成本廉價。
    接著，說明使用氫氧化鈣的存在比為 20 重量%以上且不足 70 重量% 的處理劑的

廢氣處理的*性。
    sCaO 以及 Ca  ( OH )  2 的密度 ，分別為 ，3.25g/cm3 以及 2.24g/cm3 。另 

外，Ca 劑發生反應而生成的、例如 CaF2 的密度為 3.18  g/cm3 。在此，若 Ca  ( 

OH )  2 不足 20 重量% ，則由于 Ca 劑 （CaO 與 Ca  ( OH )  2 的混合物） 的密

度與生成的 CaF2  的密度大致相同，因此反應效率降低。另外，在 以 Ca 化合物除

去 F 成分的情況下，生成物與 Ca 化合物的摩爾體積也重要 。
    10即，在 Ca 化合物的摩爾體積大于 CaF2 的摩爾體積的情況下，由于由在表 面

上發生的反應在表面上產生拉伸應力 ，而產生細微裂縫，新鮮的 Ca  化 合物出現在

表面上，因此進行與 F 的反應，但是在摩爾體積偏小的情況下， 由于在表面上產生

壓縮應力，因此難以產生細微裂縫。例如 ，CaF2 的摩爾 體積為 24.6cm3/mol , CaO 

以及 Ca( OH)2 的摩爾體積，分別為 ，17.3 cm3/mol15以及 31.7cm3/mol 。在此，

若 Ca( OH)2 的比例不足 20 重量% ，則由于 Ca 化合物的摩爾體積與 CaF2 的摩爾

體積大致相同，因此反應效率 降低。 另外，在生成物為 氯化物的情況下，由于因其

潮解性 ，OH 基與 CaCI2相結合而導致 Ca (OH) 2 的比例減小，因此反應效率 

下降。另一方面 ， 若超過 70重量 % ，則不僅氧化鈣劑粉化而導致反應效率明顯下

降，還產20生大量的水分。因此需要水分除去筒。另外 ，由于   Ca( OH)2 不足 20 

%的氧化鈣劑為在消防法中的 “危險品” ，因此，優選為 20 重量%以上 。 利用 

XPSex 射線光電子光譜分析裝置 〉 ，分別對于氫氧化鈣的存在比為 20 重量% 以上

、不足 20 重量% 、超過 70 重量% 、不足 70 重量 % 的 氧化鈣劑與 COF 2 氣體的

反應前后，進行表面分析。圖 2A圖 7B 表示其25結果的一例。
    圖 2A 是含有不足 20 重量 %的 Ca( OH)2 的 CaO 劑的與 COF2 反應 前的 Ca2p 

光譜，圖 2B 是反應后的 Ca2p 光譜。另外，在圖 2A7B 中， 各圖表的縱軸表示蝕刻 

（etching ） 時間，這對應于 CaO 劑的深度 。反應前 的 Ca2p 通過與氧 （0） 成

分結合而大約在 350.4eV 上具有峰值 （peak ）。

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