光氧廢氣凈化器設備中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。
在光氧廢氣凈化器中增加納米級其他活性資料，將活性資料給予紫外線照耀，活性資料可以吸收大量的光能，于外表發作鼓勵進而生成h+（空穴）與e-（電子），而空穴與電子所具有的氧化復原才能，可與氧、水發作反響，迅速生成具有*氧化才能的·OH（氫氧根自由基）與·O2-（超級陰氧離子）。OH氧化電位適當高，可以氧化有機揮發性廢氣中的電子，推進無光吸收才能物質的氧化分化。研討發現，在紫外光的能量以及納米活性催化氧化作用下，有機揮發性廢氣在短短2-3秒的時刻內就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可見光的作用下發作催化作用，以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它無毒無害成份，廢臭氣體通過處理后可到達凈化的更理想的作用。因為在光催化氧化反響過程中無任何增加劑，所以不會發作二次污染，運轉本錢方面僅僅用到電能，無需常常替換配件，對于公司、企業來說使用上是適當的節能環保。
光氧廢氣凈化器治理廢氣的種類有氨、*胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
