型號 Model | 工作室尺寸 Chamber size | 軸及旋轉直徑 Shaft and diameter | 配置機組 Vac sys | 功率 Power | 備注 Remark |
ZH-Ø1000 | Ø1000x1800 | 6軸Ø310 6 Shafts 310 | KT-400,ZJ-300,2X-70 | 平均150W 短時zui大300W | 全部設備 由大氣抽至 5x10-2Pa小于 8分鐘?br> (空載)?/font> |
ZH-Ø1000 | Ø1200x1800 | 6軸Ø380 6 Shafts 380 | KT-600,ZJ-300,2X-70 | 平均250W 短時zui大400W | |
ZH-Ø1000 | Ø1400x2000 | 6軸Ø450 6 Shafts 450 | KT-600,ZJ-600,H-150 | 平均300W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1500x2000 | 6軸Ø480 6 Shafts 480 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1600x2000 | 6軸Ø510 6 Shafts 510 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1700x2000 | 6軸Ø550 8軸Ø470 6 Shafts 550 8ShaftsØ470 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1600x1950 | 6軸Ø520 6 Shafts 520 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1800x1950 | 6軸Ø580 8軸Ø470 6 Shafts 580 8ShaftsØ470 | KT-800(兩臺),ZJ-1200,H-150 KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | 立式 (Vertical |
型號 Model | 工作室尺寸 Chamber size | 軸及旋轉直徑 Shaft and diameter | 配置機組 Vac sys | 功率 Power | 備注 Remark |
ZH-Ø1000 | Ø1000x1800 | 6軸Ø310 6 Shafts 310 | KT-400,ZJ-300,2X-70 | 平均150W 短時zui大300W | 全部設備 由大氣抽至 5x10-2Pa小于 8分鐘?br> (空載)?/font> |
ZH-Ø1000 | Ø1200x1800 | 6軸Ø380 6 Shafts 380 | KT-600,ZJ-300,2X-70 | 平均250W 短時zui大400W | |
ZH-Ø1000 | Ø1400x2000 | 6軸Ø450 6 Shafts 450 | KT-600,ZJ-600,H-150 | 平均300W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1500x2000 | 6軸Ø480 6 Shafts 480 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1600x2000 | 6軸Ø510 6 Shafts 510 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1700x2000 | 6軸Ø550 8軸Ø470 6 Shafts 550 8ShaftsØ470 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1600x1950 | 6軸Ø520 6 Shafts 520 | KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | |
ZH-Ø1000 | Ø1800x1950 | 6軸Ø580 8軸Ø470 6 Shafts 580 8ShaftsØ470 | KT-800(兩臺),ZJ-1200,H-150 KT-800,ZJ-1200,H-150 | 平均400W 短時zui大500W | 立式 (Vertical |