□ 氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC工作原理
氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構(gòu)成，用于測(cè)量潔凈氣體流量。
氣體質(zhì)量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個(gè)部件外，還有一個(gè)流量調(diào)節(jié)閥及PID控制電路，它不但可以測(cè)量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過(guò)質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計(jì)）時(shí)，大部分氣體通過(guò)分流器，小部分氣體流過(guò)流量傳感器。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，并將流量傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器進(jìn)行線性化處理，輸出與瞬時(shí)流量成正比的電壓信號(hào)0-5VDC。放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動(dòng)控制閥門，PID閉環(huán)控制，使流過(guò)通道的氣體流量與設(shè)定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質(zhì)量流量計(jì)（氣體質(zhì)量流量控制器）能精確測(cè)量（控制）氣體流量。
因?yàn)闅怏w質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC測(cè)得的是氣體的質(zhì)量流量而不是體積流量，其質(zhì)量流量單位通常表示為SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）或SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)是指壓力為一個(gè)大氣壓（101.325KPa）、溫度為0度。因?yàn)樵跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量等同于質(zhì)量流量。
因此，在選擇氣體質(zhì)量流量計(jì)或氣體質(zhì)量流量控制器時(shí)，需要確認(rèn)流量范圍是不是該標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的標(biāo)況體積流量（也就是質(zhì)量流量）。如果是工況流量，需用下列公式換算為標(biāo)況體積流量。
在不考慮壓縮因子的情況下，氣體標(biāo)況流量與工況流量的換算公式為： 
Q標(biāo)況＝Q工況 * 〔(P表壓+0.1)/0.1〕 * 〔 273.15/(273.15+T工況)〕
防腐型氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM、防腐型氣體質(zhì)量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于測(cè)量干燥cl2、二氧化硫、氯甲烷等腐蝕性氣體。

□ 流量標(biāo)定和不同氣體的流量換算
我公司氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）或氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）出廠時(shí)用氮?dú)猓∟2）進(jìn)行標(biāo)定。如果要求使用其它氣體標(biāo)定，請(qǐng)咨詢或訂貨時(shí)預(yù)先說(shuō)明。
流量單位規(guī)定為：標(biāo)準(zhǔn)毫升/分（SCCM）；標(biāo)準(zhǔn)升/分（SlM）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度——0℃；氣壓——101325Pa(760mmHg)。 
用氮?dú)鈽?biāo)定的MFC或MFM用戶測(cè)量其它氣體時(shí)，可以通過(guò)我公司提供的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算：將MFC或MFM顯示出的流量讀數(shù)，與該使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)相乘，即是該被測(cè)氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量流量。 
如：一臺(tái)出廠用氮?dú)鈽?biāo)定，量程為100SCCM的氣體質(zhì)量流量計(jì)，通乙烯氣體時(shí)顯示的流量為85SCCM，經(jīng)查找我公司系數(shù)轉(zhuǎn)換表可知乙烯轉(zhuǎn)換系數(shù)為0.598，則乙烯的實(shí)際流量為85×0.598，即51SCCM。
2、多組份氣體或混合氣體與氮?dú)獾牧髁繐Q算系數(shù)的計(jì)算
如果用戶測(cè)量的是多組分氣體（假定由n種氣體組成），請(qǐng)按下列公式計(jì)算其轉(zhuǎn)換系數(shù)C：
基本公式：C=(0.3106*N) / (ρ*Cp）
其中：ρ為氣體的密度
Cp為該氣體的比熱值
N為該氣體構(gòu)成分子系數(shù)：
-- 如果該氣體屬于單原子分子，如Ar、He等，則N=1.01
-- 如果該氣體屬于雙原子分子，如CO、N2等，則N=1.00
-- 如果該氣體屬于三原子分子，如CO2、NO2等，則N=0.94
-- 如果該氣體屬于多原子分子，如NH3、C4H8等，則N=0.88
-- 如果該氣體屬于混合氣體，則N=N1（ω1/ωT）+ N2（ω2/ωT）+ … + Nn（ωn/ωT）
因此，可以導(dǎo)出公式為：

其中：ω1…ωn為相應(yīng)氣體的流量

ωT…為混合氣體的流量
Ρ1…Ρn為相應(yīng)氣體的密度
Cp1…Cpn為相應(yīng)氣體的比熱
N1…Nn為相應(yīng)氣體的分子構(gòu)成系數(shù)。
對(duì)于多組份或混合氣體的流量轉(zhuǎn)換參數(shù)的計(jì)算問(wèn)題，可我公司。
□ D500系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)表(可定做分體式耐高溫100℃的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器)

D500系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器由氣體質(zhì)量流量傳感器（氣體質(zhì)量流量控制器還包括電磁調(diào)節(jié)閥）、信號(hào)線電源線、氣體質(zhì)量流量顯示儀（氣體質(zhì)量流量顯示控制儀）等構(gòu)成。

□ D600系列數(shù)字式一體型氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)表
D600系列一體型氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器是我公司推出的數(shù)字化流量計(jì)產(chǎn)品。它采用單電源供電(6~16VDC或24VDC)，一體化液晶顯示瞬時(shí)流量、累積流量，對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器，更是集成了電磁調(diào)節(jié)閥，可以直接在液晶面板上設(shè)定控制瞬時(shí)流量，也可以直接連電腦顯示控制；數(shù)字，模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高精度等特點(diǎn)。

□ 氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1、氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器在出廠前均根究用戶要求調(diào)整好，用戶不得隨意自行調(diào)整。
2、使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)，須在氣路中加裝過(guò)濾器等。如果氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器出口接有液體源瓶，應(yīng)在氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器出口安裝單向閥，防止液體回流損壞氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器。
3、氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器通道采用的材料為：SUS316L不銹鋼, 聚四氟乙烯，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無(wú)水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明。使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
4、氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器安裝時(shí)保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可調(diào)整零點(diǎn)后再工作。如果用戶訂貨時(shí)注明安裝位置，我公司也可根據(jù)用戶的安裝位置進(jìn)行標(biāo)定后出廠。
5、對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器要注意工作壓差，應(yīng)注意使控制器進(jìn)出氣口兩端的工作壓差保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi)，流量將無(wú)法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時(shí)，要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達(dá)不到滿量程值。
6、氣體質(zhì)量流量控制器電磁調(diào)節(jié)閥并不能當(dāng)做氣路截止閥使用，一般情況下用戶應(yīng)在控制器進(jìn)氣口前安裝電磁（手動(dòng)）截止閥。（有必要時(shí)在氣體質(zhì)量流量控制器前后都應(yīng)加裝）
7、氣體質(zhì)量流量控制器在閥控操作為“清洗”后不能直接轉(zhuǎn)為“閥控”狀態(tài)，應(yīng)先切換至“關(guān)閉”狀態(tài)。