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*，液體吸收法。也就是用物理化學吸收法，應用相似相容的原理，把廢氣有效地融入到吸收劑當中，從而實現氣體的凈化。第二，吸附法。利用多孔形態的活性碳，用物
理方法進行吸附，然后再使用水蒸氣進行脫附。第三，熱破壞法。在催化劑的作用下，用燃燒的方式使有機物進行轉化，轉化成無機物。第四，生物處理法。通過微生物對廢氣進行分解，這種方式已經被所認可。第五，對有害的物質進行降溫使其冷凝，再把廢氣分離出來進行合理的處理。第六，低溫等離子體技術。根據熱力學平衡原理，對廢氣進行低溫高壓的處理，讓有害物質在短的時間內分解。
2 工業廢氣處理效率的研究
上面所說的廢氣處理技術處理效率都是不同的，對處理效率造成影響的因素也是不一樣的。在工業廢氣處理效率的研究過程中，使用的都是數據包絡分析的方法，通常也被稱作DEA法。這種方式在我國各種類型的生產單位中廣泛使用。這種方式的基本思想就是把多種決策單元的投入以及相關的數據進行分析，然后對決策的單元效率進行判斷。DEA方法有以下幾種優勢，在進行研究之前不用對前沿生產函數形式進行確定；在生產過程中不需要對指標權重進行確定；投入和生產的指標不會對結果造成影響。DEA法其中又包括CCR模式和BBC模式，這兩種都是定量不變，對某個單元的技術效率進行研究
揮發性有機廢氣( 以下簡稱 VOCs) 是一種有害氣體，它的沸點接近水的沸點，有的 VOCs
沸點是在較高的溫度下，此時這些有機廢氣的飽和蒸汽壓都會高于 133. 3 Pa，在這樣的條件下，它們就可能成為揮發有機化合物，這種有機揮發化合物會污染空氣，影響人類的健康。
這些揮發性的有機化合物主要成分包括: 硫烴、含氧烴、氮烴、鹵代烴、烴類等多環芳香烴，由于它們的性質相似，它們很容易混合在一起，就會污染環境，這些 VOCs 同時能夠威脅人類的身體健康，在人們的呼吸中，進入人體，對人的器官造成傷害。因此，在科技時代，必須對揮發性有機廢氣進行治理，使有機廢氣控制在一定的濃度。
1 揮發性有機廢氣治理技術的分析在高科技時代，許多高科技產品的表面，都會利用涂漆、塑料、化工以及其它化工原料，都會使用許多有機物來進行處理，在利用這些有機物時，就會使它們形成許多揮發性的有機廢氣，它們不僅對工人帶來身體的傷害，而且，如果這些氣體不經過處理就隨意的排放到空氣中，就會污染環境，對人類的健下幾種。
1． 1 利用燃燒法處理揮發性有機廢氣
燃燒法是利用 VOCs 的可燃性，由于它們自身可以燃燒，如果將這些有機物，在一定的溫度下，將它們通入到焚燒爐中，就可以使這些有機物燃燒，當這些有機物生成 CO2和 H2O，就可以將它們排放到空氣中。這種燃燒法的處理機理，主要根據燃燒溫度和燃燒方式的不同，一般可以將它們分成直接燃燒法、熱力燃燒法和催化燃燒法三種形式。
