無論是實驗室制得的氣體、還是鋼瓶中的氣體，在使用之前都必須預先純化以除去痕量其他氣體雜質。并需要防止塵埃污染和吸濕。高純氣體污染主要發生在貯藏、運輸和計量的過程中。保持高純氣體的質量的關鍵是謹慎處理高純氣體。在實際工作中，要使高純氣體不受污染，需要有許多嚴格的控制措施，在條件許可的實驗室都應設置的貯氣室，將氧化性氣體與還原性氣體分開放置，將可燃性氣體與不可燃氣體分開放置，以防止意外爆炸事故發生。在使用高純氣體時，為保證高純氣體不受污染或將污染減少到低程度，應注意下列問題。
選用合適的壓力調節閥和傳輸管道壓力調節閥要求。嚴密不漏氣，輸出壓力穩定；調節閥與氣體接觸部分的構件具有耐腐蝕性；在閥內或管道內配備過濾器（如燒結金屬過濾器或微孔過濾系統），以便濾除微粒，減低顆粒物質在高純氣體中的含量。
傳輸管道應盡可能采用潔凈的金屬管如不銹鋼或聚四氟乙烯管。管子安裝只能用聚四氟乙烯扎帶。
嚴格清洗氣體傳輸系統的各組成部分，必須事先用合適的去油脂溶劑如三氯乙烯清洗管道等部件上的微粒、油污、吸附物、水分等。各部件組裝后在使用這這前，應抽空并用惰性氣體如干燥的氮氣來吹洗用以除去水氣等雜質。限定氣瓶的使用的低壓力，因為在高壓下氣體中的雜質可能吸附在氣瓶內壁上，而當氣瓶壓力下降時，被吸附在內壁上的雜質會解吸下來，因而，應限定氣瓶低的使用壓力。
在使用過程中，要經常檢查氣瓶和傳輸系統的密閉性，若發現漏氣，應及時采取措施。
未名雷蒙特--綠色智能實驗室整體解決專家、生物經濟孵化器全程科技服務商，中國《實驗室設計與建設指南》主編單位，專注于綠色智能實驗室科技個性化定制服務近20年，為實驗室、科技樓、科技園提供設計、建設、運營、策劃等一條龍科技服務，以綠色、安全、智能為核心訴求，以專業、品質、榜樣為項目標準，以實驗室設備制造商+實驗室規劃科技樓設計建設科技產業園策劃等3600多宗成功案例，傾力打造實驗室科技產業一體化精品工程，樹立中國實驗室科技行業標準*。
