晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱概述
晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱
特點
Ø 在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到預定溫度控制精度。
配件
Ø 高性能程序控制器PF900 TOPPAGE
a) 一目了然、直觀的顯示
b) 搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩定)」
c) 程序程式輸出功能(多3點)
d) 大容量 多1024段程序
e) 雙模式信號輸出
f) 對應各種狀況(程式終止狀態、等待判斷等)
g) 綜合管理大量的設定值，存儲組功能
h) 程序聯合運行功能(控制器間的通信)
i) 前面板接口通信+程序設定工具
Ø 耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)
a) 特點：效率高、阻力低、容塵量大；
b) 外框材質：不銹鋼;
c) 材料：超細玻璃纖維濾紙;
d) 隔板：鋁箔;
e) 過濾效率：≥99.99%;
f) 顯示直觀，操作簡單
