硅片充氮烘箱,無氧充氮烤箱概述
硅片充氮烘箱,無氧充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動(dòng)控制P.I.D調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。
用途
潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
技術(shù)參數(shù)
Ø 溫控輸出:SSR輸出,品牌繼電器,固態(tài)繼電器。
Ø 測(cè)溫裝置:PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置,測(cè)溫精確。
Ø 內(nèi)室材料:采用無磁性不銹鋼;外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 。
Ø 保溫材料:玻璃纖維。
Ø 保護(hù)裝置:超溫保護(hù)器,無熔絲開關(guān)。
Ø 流 量 計(jì):氮?dú)廪D(zhuǎn)子流量計(jì)
無氧烘箱
一. 概述
無氧化烘箱,在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
二.技術(shù)參數(shù)
1、主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 含氧量:< 100ppm;
Ø 溫度范圍: RT(室溫)+10~ +200℃;
Ø 溫度均勻度:±1℃;
Ø 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
Ø 溫控精度:0.1℃;
Ø 烘箱擱板為活動(dòng)形式。