高純氬色譜分析儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。高純氬氣色譜儀配備氬離子化(AID)檢測器，采用帶吹掃保護氣路的六通或十通閥。上述部分與純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。
高純氬色譜分析儀的性能特點
1.采用4.3英寸觸屏液晶中文顯示，各路溫度、操作條件實時顯示，*實現在線監控；
2.開機自檢，五路獨立控溫；
3.任一路傳感器斷路，儀器自動顯示報警；
4.高精度雙重穩定氣路，zui多可同時安裝四種檢測器；
5.四路外部事件功能支持多閥切換；
6.可選配電子流量壓力顯示系統及內置工作站裝置；
的技術指標
開機穩定時間：＜1小時
控溫精度：±0.1℃
基線噪音：≤0.03mv
基線漂移：≤0.2mv/30min
氬離子化檢測器（AID）：
1.檢測目標：高純氬中雜質
2.檢測限：0.05ppm（以氮計）
3.線性范圍：102
組分檢測限(ppm) | ||||||
組分 | H2 | 02 | N2 | CH4 | CO | CO2 |
檢測限 | ≤1 | ≤10 | ≤10 | ≤5 | ≤25 | ≤5 |
高純氬中氣體雜質的測定譜圖
載氣純化器：
控溫范圍：室溫+5℃～500℃
控溫精度：±0.2℃
可純化氣體：惰性氣體
zui大操作壓力：5Mpa
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O等
殘留濃度：≤20ppb
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