BP-Q2自動(dòng)平衡氣墊精密光學(xué)平臺(tái)
自動(dòng)平衡氣墊精密光學(xué)平臺(tái)
工作原理:平臺(tái)的每一個(gè)氣腿上有一個(gè)定位開關(guān),當(dāng)平臺(tái)低于開關(guān)時(shí),閥門打開氣泵開始充氣。當(dāng)
平臺(tái)高于定位開關(guān)時(shí),閥門打開氣腿自動(dòng)放氣。
氣墊隔振平臺(tái)外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
氣墊隔振平臺(tái)性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有頻率不大于3Hz
臺(tái)面可調(diào)精度為0.2mm
M6安裝螺孔間距25×25mm或50×50mm
平臺(tái)表面材質(zhì)采用高導(dǎo)磁不銹鋼板面