低溫等離子凈化器是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子凈化器內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，zui終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

低溫等離子凈化器去除污染物的機理：

低溫等離子凈化器化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

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(1)電場＋電子→高能電子

(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱