工業純水又名高純水，是指化學純度*的水從化學的角度來說，只有H2O,幾乎不含任何其他物質。

　　在高純水的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。 天然水中溶解的氣體主要有O2、、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。

　　純水和超純水廣泛用于電廠、電子、醫藥、化工行業，通過各種膜的過濾或離子交換作用，將水中的有害離子去除。

　　電廠多用的脫鹽水，其脫鹽水水質的主要指標為：硬度約等于零，電導率≤0.2μs.cm，SiO2≤20ppb。

　　化工用水多種多樣，通常水質不會比電廠水質要求高，但可能會對某些離子有要求，所以常用一級或二級反滲透工藝。出水水質電導為5~10μs.cm以上。如有更高的要求則后面加混床或EDI。

　　醫藥用水多對電導和細菌作要求，對系統所用材料材質有要求，多選用不銹鋼產品。通常純水后要加殺菌消毒裝置。

電子行業對水的要求是zui高的，多數電子用水要求達到18兆。對電阻率的要求只是電子用水的一小部分，它對其中很多離子都有較高要求，所以對安裝材料及管道有特殊要求。選用工藝也是zui復雜的。通常要在EDI后加拋光混床及超濾、殺菌、氮封水箱等裝置，造價也很高。

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