延安臭氧脫硝設備專賣因此臭氧極易分解而難以保存，使用臭氧一般也是隨制隨用。而目前臭氧的制備方法主要有三種：光化學法、電化學法和電暈放電法。
光化學法是指通過紫外線照射是氧氣轉變為臭氧的工藝方法，這是地球大氣層中臭氧的形成機制，也是科研臭氧的制取*。
電化學法是通過點解純水產生臭氧，此類工藝發展歷史悠久，目前其制備量已達到工業級別要求，其臭氧產生量大約在100g/h。
延安臭氧脫硝設備專賣電暈放電法是目前工業制備臭氧應用的一種制備方法，此技術其能達到單臺機組500kg/h的制氧量。該方法就是干燥的含氧氣體留過光暈放點區制成臭氧的方法。
目前工業制備臭氧市場均是電化學法和電暈放電法互相競爭的局面。相信不久的將來，臭氧制備成本也會得到有效降低。
考慮到目前臭氧制備成本仍較高的情況下，采用替代氧化劑參與尾氣吸收也是可能的，比如采用雙氧水氧化也能達到較好的效果。
總結
1.臭氧脫硫脫硝工藝簡單、可靠，相比傳統尾氣處理工藝占地大、投資高、工藝復雜等具有巨大優勢。
2.臭氧的強氧化性對煙氣中的汞等其他污染物也能起到不錯的脫除效果。
3.臭氧技術zui大限制因素是臭氧的制備成本，相信在不久的未來是有機會得到解決的，因此臭氧同時脫硫脫硝制備工藝具備寬廣的應用前景。
