一、艾里卡特質量流量控制器產品特點
操作便捷
• 50-100毫秒控制響應
• 允許用戶自行調節PID以獲得良好的速度和穩定性
• 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性
• 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力
• 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制
二、艾里卡特質量流量控制器產品系列
MC 標準系列
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
zui大限度減小壓損對系統的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航*航*、環境氣體分析等應用的良好選擇；zui大量程：0-500 slpm。
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。
MCE / MCV 半導體行業系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm.
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
*雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。
三、常用選配項
• 后置閥門，優化真空及背壓應用的控制
• 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
• CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許設備用于危險環境
• 9針或15針D-Sub等連接接口可選
• 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
• 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合
四、性能參數
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
