陜西臭氧脫硝設備專家臭氧脫硫脫硝是利用臭氧的強氧化性將煙氣中的NOx、SOx氧化為更高價位的可溶水化合物再通過濕法洗滌吸收的一種新型脫硫脫硝同時脫除技術。應用臭氧氧化及尾部煙氣洗滌，NOx脫除效率往往超過95%，SOx脫除效率接近*。因目前臭氧制備及儲存成本較高，限制了它的應用范圍；國外已經出現相當數量的采用臭氧脫除工藝的石油精煉廠應用案例。近些年來，隨著國家限制煙氣排放標準的提高，我國也出現了一些采用此類工藝的機組。因此有必要對此工藝進行一些簡單介紹。
陜西臭氧脫硝設備專家與傳統的SCR脫硝工藝相比，臭氧脫硫效率可輕易達到SCR的脫除效率，且透過調整摩爾比、洗滌劑種類其效率是有可到達*的。從成本上說，根據MARAMA2007評估數據報告，在保證NOx脫除效率為85%~95%的情況下，LoTOx運行用度為1700~1950美元/噸NOx；比SCR運行用度為2364~2458美元/噸NOx要低。此外SCR尚需要考慮氨逃逸問題，采用LoTOx工藝則不需要考慮，只因在洗滌流程中臭氧會被*阻隔。
相比較傳統的濕法脫硫工藝，其產物直接是硫酸鹽，而傳統工藝的亞硫酸鹽需要經過曝氣手段強制氧化。而經由臭氧氧化后的高價位污染物具備更高的親水性。因此煙氣在塔內的停留時間也能大大縮短。相比傳統濕法脫硫工藝，新型的LoTOx工藝的設備成本是很低的。
