采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨壯的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。污染節制在等離子體的作用下‘產生活性自由基’活化后的污染物分子經過等離子體定向連化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鍵斷裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分

1、活性炭吸附凈化裝置，由脫付凈化裝置，吸附風機，脫付風機等組成。

2、活性炭吸附裝置適用范圍：該裝置運用于大風量低濃度的有機廢氣處理，可出來苯類、酮類、醇類、烷類及其混合類有機廢氣，主要用于化工、機械、電子、電器、涂裝、制鞋、橡膠、塑料、印刷及各種工業生產車間產生的有害廢氣的凈化處理。活性炭吸附塔，系利用高性能活性炭吸附劑固體本身的表面作用力，將有機廢氣分子之吸附質吸引附著在吸附劑表面，能對苯、醇、酮、酯汽油類等有機溶劑的廢氣吸附，更適用于大風量低濃度的廢氣治理，適用于電子、化工、輕工、橡膠、油漆、涂裝、印刷、機械、船舶、汽車、石油等行業。

• 吸附凈化原理

1、有機廢氣經過濾器除去固體顆粒物質，由上而下進入吸附罐，有機物被活性炭捕集、吸附并濃縮，凈化的空氣從罐體下部經主風機排入大氣。

2、解吸當活性炭吸附有機物達到飽和狀態后，停止吸入有機廢氣。通過活性炭床向上送入蒸汽進行吹脫，將有機物自活性炭逐出，即解吸。罐中活性炭恢復其活性，即再生。

3、熱風干燥及冷卻：用蒸汽解吸后的活性炭層中，約留有80-90%的蒸汽凝液，填充了活性炭內孔，從而降低了碳層的活性，因此，通過熱空氣對碳層進行干燥，然后關閉蒸汽閥門，再通入常溫空氣，冷卻至25℃左右，活性炭恢復如初，以備再循環使用。

4、有機溶劑回收：利用有機溶劑露點溫度較高的特點，將蒸汽和有機溶劑的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液經疏水閥進入分離器，利用溶劑比水輕的特點，分離回收。

5、凝水凈化：為保證冷凝水的潔凈，避免有機溶劑的凝水排入水體，在分離器內分離后的水中通入壓縮空氣，使水中有機溶劑充分解脫。被壓縮空氣逐出的含有機物空氣折返廢氣系統，重新吸附。凈化后的冷凝水，排入下水道。

6、連續吸附措施:在連續生產的工廠中，吸附系統也需相應連續工作，可在廢氣凈化系統設計中，選用雙罐系列，以便吸附，再生交替連續使用。

7、再生周期：再生周期應根據凈化后排氣中有害氣體濃度而定。當有害氣體濃度接近超標數值時，即應停止吸附，進行再生。幫系統初始工作階段需及時測定排出口有害氣體濃度，以便掌握合理吸附再生周期。