SMC帶真空過濾器及消音器，還有帶真空計或真空壓力開關、供給閥、破壞閥的形式。噴嘴直徑為1.2mm。當供給壓力為0.4MPa時，極限真空度為84kPa，zui大吸入流量為100/min（ANR）。新型ZL212系列的3段接收管由上下兩個重疊成一體，zui大吸入流量可達200/min（ANR）。
SMC大型真空組件采用一體化結構，故結構緊湊、?。ê穸葍H為15.5mm）、輕（zui多組合400g）。因配管、配線、指示及調整旋鈕等全裝在側面，故可以多個組件集裝在一起，便于維護。因為吧真空發生器的接收管設計成前后兩個抽吸口，除保證zui大真空度達84kPa外，zui大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空組件zui多可集裝10個。供氣口有單獨供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。
日本SMC真空發生器,日本SMC大型真空組件
ZM053H-B5LNB ZR110L1-K25MZB-EC
ZM103H-K5LOZ-X107 ZX100-K15LZB-F
ZM053H-B5LZB ZR110S1-K15LZB-EC
ZM103H-K5LOZ-X111 ZX100-K15LZ-D21C
ZM053H-J5GB ZR110S1-K15MNZ-E
ZM103H-K5LZ ZX100-K15LZ-E
ZM053H-J5GB-E15 ZR110S1-K15MZ-E
ZM103H-K5LZB ZX100-K15LZ-EC
ZM053H-J5LOZ-X107 ZR110S1-K25GB-EL
ZM103H-K5LZB-E14C ZX100-K15LZ-ECL
ZM053H-J5LZB ZR110S1-K25G-D126
ZM103H-K5LZB-E15 ZX100-K15LZ-F
ZM053H-K5GB-E15 ZR110S1-K25LZB-EC
ZM103H-K5LZB-E55L ZX100-K15LZ-F-X102
ZM053H-K5G-E15L-X107 ZR110S1-K25LZ-F
ZM103H-K5LZB-X143 ZX100-K15LZ-PS
ZM053H-K5LB ZR110S2-K25MZB-F
ZM103H-K5LZ-E15 ZX100-K16G-F
ZM053H-K5LNB ZR110S3-K25LZB-E
ZM103H-K5LZ-E15L ZX100-K1Y5LZ-ECL
ZM053H-K5LZ ZR110S3-K25LZB-F
ZM103H-K5LZ-E16C ZX100-K1Y5LZ-F
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